这些操作数应当被合适的配置以执行特定的功能。只要按钮被按下，操作数就保持确定状态，当按钮被释放后,操作数才返回。用100毫秒的返回延时来确保快速按钮操作被可能将控制按钮作为输入使用的各个部分辩认。当按下一个控制按钮时，一个事件将被记录进事件记录(如用户设定的一样)。当按钮被释放后没有事件被记录。面板上的键(包括控制键)不可以被同时操作蜒在按下一个按键之前必须释放已按下的键。每个按钮分别给出自己的启用和停用操作数。应当利用灵活逻辑编程实现预定的按钮行为。操作数的名字是按钮1接通和按钮1断开。
UNIT MFC UFC-1661C N2 500 SCCM SIH4 MASS FLOW CONTROLLE
UNIT MFC UFC-1661C N2 90 SCCM MULTIFLO MASS FLOW CONTRO
UNIT MFC UFC-1661C N2 15 SLM MASS FLOW CONTROLLER
UNIT MFC UFC-1661C N2 2SLM MULTIFLO MASS FLOW CONTROLLE
UNIT MFC UFC-1661C N2 250 SCCM MULTIFLO MASS FLOW CONTR
UNIT MFC UFC-8100 N2 1 SLM MASS FLOW CONTROLLER ELASTOM
AERA MFC TC FC-D980C N2 200 SCCM MASS FLOW CONTROLLE
MKS SENSOR PRESSURE 621C11TBFHC 10 TORR
TEL TOKYO ELECTRON 2181-020010-17 PCB ASSY STC-P
ORIENTAL MOTOR VEXTA 5-PHASE STEPPING MOTOR UNIT UDX510
APPLIED MATERIALS MANIFOLD WAFER SOURCE 13″ SST 0050-2
APPLIED MATERIALS 0040-54102 LID,CHAMBER, 200MM
SMC HEC-MC8E-X87 CHILLER CONTROLLER
EUROTHERM 34774*11595 BAKE PANEL
TEL TOKYO ELECTRON 2110-334091-11 HEAT INSULATOR
Applied Materials PN 0190-08535 Shield Assembly
MKS 631B11TBFH CAPACITANCE MANOMETER 10 TORR
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