描述
PFEA111-20 3BSE028140R0020
随着现场总线技术的出现和成熟,促使了控制系统由集散控制系统(DCS)向现场总线控制系统(FCS)的过渡。在一般的FCS系统中,遵循一定现场总线协议的现场仪表可以组成控制回路,使控制站的部分控制功能下移分散到各个现场仪表中。从而减轻了控制站负担,使得控制站可以专职于执行复杂的高层次的控制算法。对于简单的控制应用,甚至可以把控制站取消,在控制站的位置代之以起连接现场总线作用的网桥和集线器,操作站直接与现场仪表相连,构成分布式控制系统。分布式的FCS系统比DCS系统更好地体现了“信息集中,控制分散”的思想。与传统的DCS相比,FCS有其自身的特点。FCS系统具有高度的分散性,它可以由现场设备组成自治的控制回路。现场仪表或设备具有高度的智能化与功能自主性,可完成控制的基本功能,并可以随时诊断设备的运行情况。另外,FCS的结构比DCS简化。有的FCS系统省略了DCS中控制站这一层,操作站直接与现场仪表相连。这些使FCS的可靠性得到提高。
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Lam Research AutoEtch 490
Applied Materials 300mm DPS Throttle Valve # 0010-39646
Applied Materials 300mm DPS chamber p/n# 0040-07647
Advanced Energy RFG 3000 RF Generator # 5038-000-D
ESC 9600 S718-094756-081 (Replaces Lam 718-094756-081)
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Advanced Energy RF30S P/N# 3150017-012D
Tokyo Electron TEL INR-244-602A Thermo-Con; Thermocon
Applied Materials Neslab HX-150 p/n# 0010-00570 rev D
Advanced Energy PDW 2200 RF Generator 3156011-000B
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Lam Research 9600 Fast Acting Iso Valve S853-032983-001
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Lam Research Radius Electrode 715-008721-002
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Lam Research Electrode Black Anodized 715-008721-001